發布(bù)日期:2025-08-22 瀏覽(lǎn)次數:次(cì)
加(jiā)熱防(fáng)腐型(xíng)勻膠機
一、技術原(yuán)理與核心(xīn)參數
加熱防腐型旋轉塗覆儀(yí)采用(yòng)聚四氟乙(yǐ)烯腔體,外觀美觀堅固,具有優良的化學(xué)穩定性和極(jí)強的耐腐蝕性,能夠用於各種需(xū)要抗酸堿(jiǎn)和有機溶劑的場合。儀器采用先進的精密(mì)電機(jī),轉速能(néng)達到 12000 轉(zhuǎn)/分,有(yǒu)效的保障了成膜(mó)的均勻性。除了基(jī)本的旋塗功能,本(běn)品還配有加(jiā)熱組件,可以加熱到 200℃,由智能溫控表控溫,溫度測定準確,升溫過程完(wán)全可控。另外本(běn)儀(yí)器采用觸控屏控製,可以預設勻膠曲線,大大簡(jiǎn)化了使用過(guò)程降低了學習成本(běn),十分適合實驗室選購。
二、關鍵性能參數
項目 | 參(cān)數要求 |
控製係統 | PLC控製係統 |
操作界麵 | 彩色7寸觸摸屏,中英文切換 |
速度範圍 | 0~ 12000rpm,精(jīng)度±1 |
加速度 | 100~8000rpm/s(空載) |
腔體材質 | 聚四(sì)氟乙烯 |
加熱溫度 | 室溫+200℃ |
傳動機構(gòu) | 精密電機+驅動器和高精度步進電機,傳動穩、噪音小; |
控溫方式 | AIP 智能控溫 |
滴膠方式 | 精密注射泵(0.01~5ml ,精(jīng)度士 1% ,防回流設計) |
勻膠曲線(xiàn) | 每條曲線 1000 段,共可儲存 30 條曲線 |
數據 | 支持 USB 導出數據 |
抽氣接口 | φ6mm 快擰接口(kǒu) |
無油真空泵 | 50L/min, |
勻膠吸盤(pán) | Ø10mm,Ø25mm,Ø55mm,Ø100mm聚四氟材質 |
打印機 | 嵌入式微型打印機 |
電壓電流 | AC220V,50Hz |
外(wài)形尺寸 | 310mm×365mm×350mm |
重量 | 15kg |
三,應用領域(yù)
光電子(zǐ)學領域:用於製備太陽能(néng)電池(chí)、有機發光二極(jí)管(OLED)、有機太陽能電池(OPV)等器件的(de)薄膜塗層;
半(bàn)導體與微電子製(zhì)造:適用(yòng)於光刻膠旋塗、晶圓表麵塗(tú)布等工藝,支持最大12英(yīng)寸晶圓處理;
材料科學:可製備金屬、半(bàn)導體、氧化(huà)物及聚合物等材料的(de)均勻薄(báo)膜,尤(yóu)其適合需要抗酸堿(jiǎn)和有機溶劑的實驗環境;
生物醫學領域:用於(yú)生物傳感器、生物芯片的塗層製備,聚(jù)四氟乙烯腔體設計確保化學穩定性與耐腐蝕性;
納米科技:支持納米材料與納米薄膜的(de)製備(bèi),高精度控(kòng)溫(室溫-200℃)和轉速調節(10-12000轉/分鍾)保(bǎo)障工藝穩定性。
四、基礎操作流程
A安裝與準備
連接設備
連接真(zhēn)空泵氣管(guǎn)與電源線,確保螺帽擰緊。
插入設備電源(yuán)線並(bìng)打開總開關。
安裝吸盤與片托
根(gēn)據樣品尺寸選擇吸盤,對準槽口安裝並固定螺絲(sī)。
將片托(tuō)凹槽(cáo)對準電機軸頂絲垂(chuí)直放置。
B參數設(shè)置
選擇勻膠方案
進入操作界麵,選擇預設方案(如5段式參數)或自定義參(cān)數。
設置轉速、時間與加速度(dù)
示例(lì):第一段(duàn)速度2000轉/分(fèn)鍾,時間20秒,加速度20001。
分段設置(如第二段3500轉/分鍾(zhōng),第三段10000轉/分鍾)。
溫度控製(如需加熱)
設置溫(wēn)度範圍(0-200℃),支持手動(dòng)或自動加熱模式。
C旋塗操作
放置樣品
將基片居中放置於片托,啟動真空(kōng)泵吸附固定。
啟(qǐ)動勻膠
轉速穩定後注入膠液,程序自(zì)動分(fèn)段執行(háng)。
完(wán)成與清潔
等待(dài)轉速歸零,關閉真(zhēn)空泵並取出樣品。
定期清(qīng)潔抽氣孔(滴酒精維護)。
D注意事項
防腐設計:聚四氟乙烯腔體可耐酸堿腐蝕,避(bì)免(miǎn)接觸強氧化劑。
安全(quán)防護:加熱(rè)模塊高溫,操(cāo)作時勿觸碰(pèng)。
五、合規性要求(核心標準)
六、儀器特點
1. 防腐設(shè)計
腔體材質采(cǎi)用(yòng)聚(jù)四氟乙烯(PTFE)或聚丙烯(PP),抗強酸、強(qiáng)堿及(jí)有機溶劑腐蝕。
部分機型配備防濺廢料罐和排液管,防止(zhǐ)腐蝕性液體汙染環境。
2. 加熱與溫控功能
加熱範圍覆蓋室溫至200℃,控溫(wēn)精度±1-2℃,適用於高溫工藝(如光刻膠烘烤)。
支持分段控溫,部(bù)分機型集成抽廢氣功能,確保工藝穩定性。
3. 高精度勻膠性能(néng)
轉速範圍10-20000轉/分鍾(zhōng),電機采用無刷伺服或德國進口電機,保障薄膜均勻性(厚度誤差±1%)。
部分機型支持正反轉旋塗和(hé)分段編程,優(yōu)化複雜工藝需求。
4. 智能化操作
配備觸摸屏控製(zhì)、藍(lán)牙通信及PC端遠程控製軟件,支持(chí)配方存儲與掉電保護。
實時顯示(shì)轉速曲(qǔ)線、吸附力及報警功能(如進膠保護、吸(xī)附不足互鎖(suǒ))。
5. 安全與(yǔ)兼容性
透明耐腐蝕蓋板(丙烯酸材質)隔絕有毒氣體,部分機(jī)型適配手套箱使用。
適配半導體、光電子等領域。
七,配置清單
主機1台;
測試軟件1套;
說明書(shū)1份;
合格證1份;
保修卡1份;
簽收單1份;
銘牌1塊;
電源線1根;
扳手1套;
宣傳(chuán)冊若幹;
加熱防腐(fǔ)型勻膠機
一、技術(shù)原理與核心參數
加熱防腐型旋轉塗覆儀(yí)采用聚四氟乙烯腔體,外觀美觀堅固,具(jù)有優(yōu)良的(de)化學穩定性(xìng)和極強(qiáng)的耐腐蝕(shí)性,能夠用(yòng)於各種需要抗酸堿和有(yǒu)機溶劑的場合。儀(yí)器采用先進的精密電機,轉(zhuǎn)速能達到(dào) 12000 轉/分,有效的保障了成膜的均勻性。除了基本的旋塗功能,本品還配有加熱組件,可以加熱到 200℃,由智能溫控表控溫,溫度測定準確,升溫(wēn)過程完全可控。另外本儀(yí)器采用觸控屏控製,可以預設勻膠曲線,大大簡化了使用過程降低了學習成本,十分適合實驗室選購。
二、關鍵性能參數
項目 | 參數要求 |
控製係統 | PLC控製係統 |
操作界麵 | 彩色7寸觸(chù)摸(mō)屏,中英文切換(huàn) |
速度範圍 | 0~ 12000rpm,精度±1 |
加速度 | 100~8000rpm/s(空載) |
腔(qiāng)體材質 | 聚四氟乙烯 |
加(jiā)熱溫度 | 室溫+200℃ |
傳動機構(gòu) | 精密電機+驅動(dòng)器和高精度(dù)步進電機(jī),傳動(dòng)穩、噪音小; |
控(kòng)溫方式(shì) | AIP 智能控(kòng)溫 |
滴膠方式 | 精密注射泵(0.01~5ml ,精度(dù)士 1% ,防回流設計) |
勻膠曲線 | 每條(tiáo)曲線(xiàn) 1000 段(duàn),共可儲存 30 條曲(qǔ)線 |
數據 | 支持 USB 導出數據 |
抽氣(qì)接口 | φ6mm 快擰接(jiē)口 |
無油(yóu)真空泵(bèng) | 50L/min, |
勻膠吸盤 | Ø10mm,Ø25mm,Ø55mm,Ø100mm聚四(sì)氟材質 |
打印機 | 嵌入式微型打印機(jī) |
電壓電流(liú) | AC220V,50Hz |
外形尺寸 | 310mm×365mm×350mm |
重量 | 15kg |
三,應(yīng)用領域
光電子(zǐ)學領域:用(yòng)於製備太(tài)陽能電池、有機發光二極管(OLED)、有機太陽能電池(OPV)等器件的薄膜塗層;
半導體與微電子製造:適用於光刻膠旋塗、晶圓表麵塗布等工藝,支(zhī)持最大(dà)12英(yīng)寸晶(jīng)圓處理;
材料科學:可製備(bèi)金屬、半導體、氧(yǎng)化物及聚合物等材料的均勻薄膜,尤其適合需(xū)要抗酸(suān)堿和有(yǒu)機溶(róng)劑(jì)的實驗環境;
生物醫學領域:用於生物傳感(gǎn)器、生物芯片的塗層製備,聚四氟乙(yǐ)烯腔體設(shè)計確保化學穩(wěn)定性與耐腐蝕性;
納米(mǐ)科技:支持納(nà)米材料與納米薄膜的製備,高精度控(kòng)溫(室溫-200℃)和轉速調(diào)節(10-12000轉/分鍾)保障工藝穩定性。
四、基礎操作流程
A安裝與準備
連接設備
連接真空(kōng)泵氣管與電源線,確保螺帽擰緊。
插入設備電源線並打開總開關。
安裝吸盤與片托
根據樣品尺寸選擇吸盤,對準槽口安裝並固定螺絲。
將片托凹(āo)槽(cáo)對準(zhǔn)電機軸頂絲垂直放置。
B參數設(shè)置
選擇勻膠方案
進入操作界麵,選擇預設方案(如5段式參數)或自定義參數。
設置轉速(sù)、時間與加速度
示例:第一(yī)段速度2000轉/分鍾,時間20秒,加速度20001。
分段設置(如(rú)第二段3500轉(zhuǎn)/分鍾,第三段10000轉/分鍾)。
溫(wēn)度控製(zhì)(如需加熱)
設置(zhì)溫度範圍(0-200℃),支(zhī)持手動或自動加熱(rè)模式。
C旋塗(tú)操作(zuò)
放置樣品
將基片居中放置於片托,啟動真空(kōng)泵吸(xī)附固定。
啟動勻膠
轉(zhuǎn)速穩定後注入(rù)膠液,程序(xù)自動分段執行(háng)。
完成(chéng)與清潔
等待轉速歸零,關閉真空泵(bèng)並取出樣品。
定期清潔抽氣孔(滴酒精維(wéi)護)。
D注意事項
防腐設(shè)計:聚四氟乙烯腔體可耐酸堿腐蝕,避免接觸強氧化劑。
安全防護(hù):加熱模塊高溫,操作時勿觸碰。
五、合規性要(yào)求(核心標準)
六、儀器特點
1. 防腐設計
腔體材質采用(yòng)聚四氟乙烯(xī)(PTFE)或聚丙烯(PP),抗強酸、強堿及有機溶劑腐蝕。
部分(fèn)機(jī)型配備防濺廢料罐和排液(yè)管,防止腐蝕性液體汙染環境。
2. 加熱與溫控功能
加熱範圍覆蓋室溫至200℃,控溫精度±1-2℃,適(shì)用於高溫工藝(如光刻膠烘烤)。
支持分段控(kòng)溫,部(bù)分機型集成抽廢氣功能,確保工藝穩(wěn)定(dìng)性。
3. 高精度勻膠性能
轉速範圍10-20000轉/分鍾,電機采用無刷伺服或德國進口電機,保障薄膜均勻(yún)性(厚度誤差±1%)。
部分機型支持正反(fǎn)轉旋(xuán)塗和分段編(biān)程,優化複雜工(gōng)藝(yì)需求。
4. 智能化(huà)操作
配備觸摸屏控製、藍牙通信及PC端遠程控製軟件,支持(chí)配方存儲與(yǔ)掉電保護。
實時顯示轉速曲線、吸附力及報警功能(如(rú)進膠保護、吸附不(bú)足互鎖)。
5. 安(ān)全(quán)與(yǔ)兼容性
透明耐腐蝕蓋板(bǎn)(丙烯酸材質)隔絕有毒氣體,部分機型適配手(shǒu)套箱使用。
適配(pèi)半(bàn)導體、光電(diàn)子等領域。
七,配置清(qīng)單
主機1台;
測試軟(ruǎn)件1套;
說(shuō)明書1份;
合格(gé)證1份;
保(bǎo)修卡1份;
簽(qiān)收(shōu)單(dān)1份;
銘牌1塊;
電源線1根;
扳手1套;
宣傳冊若幹;
客服微(wēi)信二維碼