氣相（xiàng）沉積薄膜與基體附著（zhe）力劃（huá）痕試驗儀

根據壓頭上自動連續增加的垂直載荷，測定完全（quán）劃透薄膜並使之從其基體上連續剝離需要（yào）的小載荷（hé）， 即薄膜–基體界麵附著失（shī）效的臨（lín）界載荷 L C 。

測定 L C 的自動劃痕試驗機的結構原理如圖1示（shì）。 該儀器由（yóu）下列主要部件組成： A—壓頭連（lián）續加載電機； B—聲發射探頭， 探測劃痕產（chǎn）生的（de）聲發射強度並輸入微機； C—洛氏硬度計標準壓頭； D—試樣台； E—位移電機， 用以勻速沿水（shuǐ）平方向（xiàng）拖動試樣台； F—切向摩擦力傳感器， 連續檢測壓頭與薄膜之（zhī）間的（de）摩擦力並輸入（rù）微機； G—試樣台高度升降螺杆； H—加載壓力傳感器； I—光學顯微鏡（jìng）(≥40×)； J—信號放大器； K—變換控（kòng）製器； L—微型計算機（嵌（qiàn）入式工（gōng）業電腦）， 用以實施測試自控和自動（dòng）處理數據， 並動（dòng）態顯示及存貯數據與（yǔ）圖形； M—試樣； N—CRT 顯（xiǎn）示器； O—繪圖打印機， 輸出試驗結（jié）果； P—壓頭加載機構； Q—主支架。

執行標準：JB/T 8554-1997

技術參數

控製係統：PLC+Windows係統

操作界麵：彩色觸摸屏15寸，嵌入（rù）式工業電腦

樣品尺寸：長方體： 長 40～50mm， 寬 30～45mm， 高（gāo） 6～20mm； 或圓柱體 φ (40～45)mm×(6～20)mm；

樣品要求：試樣在（zài）溫度(20± 5)℃和相（xiàng）對濕度(50±10)%RH的條件下（xià）至少放置 8 h， 然後按規定步（bù）驟（zhòu）測試隻需很少（shǎo）的（de）測試（shì）次數即可評價劃痕（hén）特性（xìng）；

壓頭規格：按 GB/T 2848 規定（dìng）的條件選擇金剛石壓頭(頂角 120°， 頂端（duān）半徑 R 在 200 μ m± 5 μ m範圍內)， 在（zài）不小於 40 倍的顯（xiǎn）微鏡下檢測壓頭， 確認其頂端是光滑潔淨的球麵， 方可使用。

劃痕速度： (10± 1)mm/min可在觸摸屏任意設（shè）置；

加載速率： 對硬（yìng）質薄膜為(20～40)N/min；對非硬（yìng）質薄膜為(5～10)N/min；極限壓力100N;

精度： 0.03 N；

電機：伺服電機86型+驅動（dòng）器;

運動模式：絲杆+導軌，精度0.001mm；

光學顯微鏡：50倍以（yǐ）上鏡片配置；

曲線圖：加載壓力，恒定壓力，摩擦力，垂直載荷關係圖，XY關係圖；

測（cè）試高度範圍：0-100mm；

測試模式（shì）：往複式運動，可（kě）單線運（yùn）動，工業電腦觸（chù）摸屏上設置；

運動範圍：Y距離0-900mm，Y距離0-540mm;

用（yòng）電：220V,120W,20A,50hz；

外形尺寸（cùn）約：1000mm*600*640mm；