氣相沉積薄膜與基體附著（zhe）力劃痕試驗（yàn）儀

根據壓頭上自動（dòng）連續（xù）增加的（de）垂（chuí）直載荷，測定完全劃透薄膜並使之從其基體上連續剝離所（suǒ）需要的最（zuì）小載（zǎi）荷， 即薄膜–基體界麵附著失效的臨界（jiè）載荷 L C 。

測定 L C 的自動劃痕試（shì）驗機（jī）的結構原理如圖1所示。 該（gāi）儀（yí）器由下列主要部件組成： A—壓頭連續加載電機； B—聲發射探頭， 探（tàn）測劃痕產生的聲發射強（qiáng）度並輸入微機； C—洛氏硬度計標準壓（yā）頭； D—試樣台； E—位移電（diàn）機， 用以勻速沿水平（píng）方向拖動試樣台（tái）； F—切向摩擦力傳感（gǎn）器， 連續檢（jiǎn）測壓頭與薄膜之間的摩擦力並輸入微機； G—試樣台高度升降螺（luó）杆； H—加載（zǎi）壓（yā）力傳感（gǎn）器； I—光（guāng）學顯微鏡(≥40×)； J—信號放大器； K—變換控製器； L—微型計算機（嵌入式工（gōng）業（yè）電腦）， 用以實施測試自控和自動處理數據， 並動態顯示及存貯數據與（yǔ）圖形； M—試樣； N—CRT 顯（xiǎn）示器； O—繪圖打印（yìn）機， 輸（shū）出（chū）試驗結果； P—壓頭加載機構； Q—主支架。

執行標準：JB/T 8554-1997

技術參數

控製係（xì）統（tǒng）：PLC+Windows係（xì）統

操作界麵：彩色觸摸屏15寸，嵌入式工業電腦

樣品（pǐn）尺寸：長（zhǎng）方體： 長 40～50mm， 寬 30～45mm， 高 6～20mm； 或圓柱體 φ (40～45)mm×(6～20)mm；

樣品要求：試樣在溫度（dù）(20± 5)℃和相對（duì）濕度(50±10)%RH的條件下（xià）至少放置 8 h， 然後按規定步驟測試隻需很少的測試次數即可評價劃痕特性；

壓頭規格：按 GB/T 2848 規定的條件選擇金剛石壓頭(頂角 120°， 頂端半徑 R 在 200 μ m± 5 μ m範圍內)， 在不小於 40 倍的顯微鏡下檢測（cè）壓頭， 確認其頂端是（shì）光滑潔淨（jìng）的球麵， 方可使用。

劃痕速度： (10± 1)mm/min可在觸摸屏任意設置（zhì）；

加載速率： 對硬質薄膜為（wéi）(20～40)N/min；對非硬（yìng）質薄膜為(5～10)N/min；極限壓力100N;

精度： 0.03 N；

電機（jī）：伺服電機86型+驅動器;

運動模式：絲杆+導軌，精度0.001mm；

光學顯微鏡：50倍以上鏡（jìng）片配置；

曲線（xiàn）圖：加載壓力，恒定壓力，摩擦力，垂直載荷關係圖，XY關係圖；

測試高度範圍：0-100mm；

測試模式：往複式運動，可單線運動，工業電腦觸（chù）摸屏上（shàng）設置；

運動範圍：Y距離（lí）0-900mm，Y距（jù）離0-540mm;

用電：220V,120W,20A,50hz；

外（wài）形尺寸約（yuē）：1000mm*600*640mm；